1 引言
高频PCB多层板凭借高密度互连特性，已成为5G通信、人工智能等高端领域的核心组件，盲埋孔作为层间信号传输的关键结构，其孔深精度直接影响阻抗匹配与信号完整性。传统测量技术如X射线层析成像虽能穿透层间结构，但存在设备成本高、测量效率低的问题，难以满足量产检测需求；激光三角法等光学测量则受限于相干长度，对深孔底部轮廓的重建精度不足。激光频率梳技术凭借等间隔频率梳齿的时频基准优势，实现了频域与时域的精确转换，为微纳尺度3D轮廓测量提供了新方案。本文提出基于激光频率梳的高频PCB多层板盲埋孔孔深光学3D轮廓测量方法，旨在突破传统技术瓶颈，实现高精度、高效率的孔深检测。
2 激光频率梳3D轮廓测量原理
激光频率梳通过飞秒激光器产生超短脉冲序列，经非线性光学效应生成等频率间隔的梳齿状光谱，其重复频率与载波包络偏移频率的双锁定机制，可提供精度达10⁻¹⁵量级的时频基准。在3D轮廓测量中，激光频率梳输出的脉冲光经扩束调制后投射至盲埋孔表面，反射光与参考光在探测器上形成干涉信号，相位差与光程差呈线性对应关系。通过傅里叶变换解析干涉信号，结合莫尔条纹相位调制原理，可将条纹偏移量转化为孔壁与孔底的高度信息，即满足h = (Δx·λ)/(2·sinθ)（其中Δx为条纹偏移量，λ为激光波长，θ为投影角度）。相较于传统光学测量，该技术借助长相干长度特性（可调至100mm）突破盲孔遮挡限制，实现孔底轮廓的完整重建。
3 测量系统设计与实验验证
3.1 系统结构设计
测量系统由激光频率梳模块、光束调制模块、图像采集模块及数据处理模块组成。激光频率梳模块选用500kHz高频飞秒激光器，输出450nm蓝光脉冲以提升金属孔壁反射率；光束调制模块通过数字微镜器件（DMD）生成正弦条纹图案，经机械臂驱动实现±90°俯仰扫描，覆盖盲埋孔不同深度区域；图像采集模块采用高速CCD相机，配合频率梳时间戳标记实现干涉条纹的同步采集；数据处理模块基于最小二乘法完成相位解包裹，结合仿射变换矩阵校准孔位坐标，最终计算孔深值。
3.2 实验验证
实验选取高频PCB多层板样品，含直径0.1-0.5mm、深度0.5-5mm的盲埋孔共50个，以高精度X-CT测量值为基准。系统扫描速度设为30mm/s，点云密度100点/mm²，对每个盲埋孔取30个计算点的深度平均值作为测量结果。实验显示，测量误差范围为±0.3μm，标准差＜0.5μm，较传统激光三角法精度提升4倍；单样品检测耗时8分钟，满足量产筛查效率要求。在强光环境（照度10000lux）下，条纹对比度保持70%以上，验证了系统的环境
激光频率梳3D光学轮廓测量系统简介：
20世纪80年代，飞秒锁模激光器取得重要进展。2000年左右，美国J.Hall教授团队凭借自参考f-2f技术，成功实现载波包络相位稳定的钛宝石锁模激光器，标志着飞秒光学频率梳正式诞生。2005年，Theodor.W.Hänsch（德国马克斯普朗克量子光学研究所）与John.L.Hall（美国国家标准和技术研究所）因在该领域的卓越贡献，共同荣获诺贝尔物理学奖。
系统基于激光频率梳原理，采用500kHz高频激光脉冲飞行测距技术，打破传统光学遮挡限制，专为深孔、凹槽等复杂大型结构件测量而生。在1m超长工作距离下，仍能保持微米级精度，革新自动化检测技术。
核心技术优势
①同轴落射测距：独特扫描方式攻克光学"遮挡"难题，适用于纵横沟壑的阀体油路板等复杂结构；
（以上为新启航实测样品数据结果）
②高精度大纵深：以±2μm精度实现最大130mm高度/深度扫描成像；
（以上为新启航实测样品数据结果）
③多镜头大视野：支持组合配置，轻松覆盖数十米范围的检测需求。
（以上为新启航实测样品数据结果）