数字IC后端实现 |TSMC 12nm 与TSMC 28nm Metal Stack的区别

下图为咱们社区IC后端训练营项目用到的Metal Stack。

芯片Tapeout Review CheckList

数字IC后端零基础入门Innovus学习教程

1P代表一层poly,10M代表有10层metal,M5x表示M2-M6为一倍最小线宽宽度的金属层,2y表示M7-M8为二倍最小线宽宽度的金属层,2z表示M9-M10为八倍最小线宽宽度的金属层。还有一层AP用来走RDL,RDL这层是最厚的,一般用于连接IO的bump,信号线基本上都不会用这层来绕线。如果用于绕线其实也绕不了几根,还容易有DRC问题。

RDL的英文全称是redistribution layer,RDL 是top metal上面的一层 AL通常来说,现在是铜工艺,在pad区域,为了bonding,在顶层铜的上面还有一层AL,也叫做铝垫,铝比较软,如果只有铜就无法做bonding既然工艺中有这层 RDL,那么有些设计中就可以用它来做走线,只需要多一层DRL与top metal的via mask即可。

我们再拿一个社区即将开放的TSMC 12nm项目所用到的Metal Stack。从这张图很清晰看到多出来了M0和VO。在以往的工艺制程中,POLY和OD是通过Contact来过渡到Metal1的。现在在这中间又多出来了M0。值得注意的是这个工艺中的M1,M2,M3都是Double Pattern Layer。

下面这种图就很清晰描述出M0和V0在物理实现连接中的作用。

相关推荐
FPGA小徐2 天前
从“程序是什么”到 NEMU:用代码读懂 PA1《开天辟地的篇章》
芯片设计
Wireless_Link3 天前
一颗芯片如何从想法变成可出货的硅片,全流程解析
芯片设计·芯片生产·芯片封测
gwf2163 天前
AI训练RDMA性能Profiling:瓶颈定位与调优方法论
芯片设计·rdma·nccl·拥塞控制·ai集群·rnic·gpudirect
gwf21611 天前
800G RNIC芯片设计挑战:PCIe Gen6与DMA引擎架构 —— 面向AI超大规模集群的硬件实现深度解析
芯片设计·rdma·rnic·gpudirect·pciegen6·dma引擎·mrc协议
gwf21613 天前
AI多租户集群的RDMA隔离:PD/MR/ACL硬件实现 —— 面向大模型训练/推理的硅级安全架构
芯片设计·rdma·nccl·ai集群·gpudirect·多租户隔离·sr-iov
xyz_CDragon1 个月前
从 RTL 到 GDSII:人与 AI 协作,用开源 EDA 工具链完成 SHA-256 芯片的 SoC 集成与签核全流程(附完整流程+代码)
人工智能·开源·芯片设计·开源 eda·caravel
search72 个月前
芯片设计中的ECO
芯片设计
xyz_CDragon3 个月前
OpenAI发布首款自研芯片Jalapeño:9个月流片,AI设计芯片的时代来了
人工智能·单片机·深度学习·神经网络·芯片设计
泛联新安4 个月前
VHawk-Lint——军工FPGA/ASIC设计质量自主可控的基石
fpga·芯片设计·eda
硅农深芯4 个月前
芯片设计后端工作流程详解
后端·芯片设计